一种基于压电悬臂梁和柔性薄膜的液体喷头
- 专利权人:
- 刘淑芹
- 发明人:
- 刘淑芹
- 申请号：
- CN200810113027.6
- 公开号：
- CN101293234A
- 申请日:
- 2008.05.27
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2008
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明公开了属于微电子机械领域的一种基于压电悬臂梁和柔性薄膜的液体喷头。其主要结构包括压电悬臂梁、柔性薄膜、微槽道、微喷孔；在液体喷射结构外表面设置与微槽道相通的微喷孔，柔性薄膜覆盖于微槽道的顶部，含有压电薄膜层及其上、下电极的压电悬臂梁在微槽道顶部柔性薄膜的外部平行放置或与柔性薄膜的夹角为锐角，作为微槽道中液体喷射的驱动器。降低了对悬臂梁表面绝缘介质层的性能要求。柔性的有机薄膜在压电悬臂梁的驱动下能发生较大的形变；同时，防止微槽道中的液体通过悬臂梁周边的缝隙上下流动，能更有效地驱动更多液体从微喷孔中喷出，提高了液体喷射结构的工作效率和可靠性。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
