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一种双层高熵合金复合薄膜及其制备方法和应用
- 专利权人:
- 江苏理工学院
- 发明人:
- 王泽,宋永晶,孙志娟,汤嘉立,谈文胜,夏少华,杨晓红,叶霞,李小平,卢雅琳,雷卫宁,张扬
- 申请号：
- CN202010471428.X
- 公开号：
- CN111575650A
- 申请日:
- 2020.05.29
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明属于高熵合金技术领域，具体涉及一种双层高熵合金复合薄膜及其制备方法和应用。所述复合薄膜的底层为铜层，表层为(CoCrFeMnNi)Xy，层间具有共格结构，X为非金属元素O或N，Co、Cr、Fe、Mn、Ni、X元素原子比为1:1:1:1:y，y＝0.1～0.8。本发明还提供了一种所述的双层高熵合金复合薄膜的制备方法，采用自动共溅技术在Si基体先沉积铜薄膜，然后连续在铜薄膜表面沉积(CoCrFeMnNi)Xy薄膜，形成纵向成分和力学性能变化的双层高熵合金复合薄膜。本发明双层高熵合金复合薄膜与基体结合良好，同时具有高电阻率和高韧性高硬度的特点，在柔性微机电系统电阻器上具有重要的应用价值。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
