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用于介电阻挡的等离子处理的电极装置
- 专利权人:
- 奇诺格有限责任公司
- 发明人:
- L·特鲁特威格,M·哈恩尔,K-O·施托克,D·万德克,M·科普
- 申请号：
- CN201680060536.X
- 公开号：
- CN108141947A
- 申请日:
- 2016.09.26
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 一种电极装置,其用于对电导体的用作对电极的表面进行介电阻挡的等离子处理,所述电极装置具有柔性的面式的电极(1)和由面式的柔性的材料构成的电介质(2),所述电介质以阻挡直接电流流动的层(3)屏蔽所述待处理表面的电极(1),其中,电介质(2)通过具有一些突出部的结构可以平放在待处理表面上,并且在此在所述突出部之间构造用于形成等离子体的空气空间,由此改善可制造能力,所述结构是由彼此邻接的壁(7,8)构成的格栅结构(6),这些壁限界大量的构成所述空气空间的腔室(9),并且所述腔室(9)具有由所述电介质(2)的阻挡直接电流流动的层(3)形成的底侧封闭部和朝向进行处理的表面的开放侧,所述侧在待处理表面处的贴靠面由所述格栅结构(6)的壁(7,8)的末端棱边(10)构成。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
