Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zum Behandeln von Anlagenkomponenten und/oder von Packmitteln in einer Füllproduktabfüllanlage, umfassend eine Verdampfungsvorrichtung (2) zum Bereitstellen eines verdampftes Wasserstoffperoxid umfassenden Behandlungsgasstroms, weiterhin umfassend eine Behandlungsdüse (42) zum Aufbringen des Behandlungsgasstromes auf die zu behandelnde Anlagenkomponente und/oder das zu behandelnde Packmittel, wobei ein Sensor (5) zur Messung der Wasserstoffperoxidkonzentration in dem aus der Behandlungsdüse (42) austretenden Behandlungsgasstrom vorgesehen ist.The present invention relates to a device (1) for treating system components and/or packaging material in a filling product filling system, the device comprising a vaporisation device (2) for providing a treatment gas flow containing vapourised hydrogen peroxide, and also comprising a treatment nozzle (42) for applying the treatment gas flow to the system components to be treated and/or the packaging means to be treated, wherein a sensor (5) is provided to measure the hydrogen peroxide concentration in the treatment gas flow exiting the treatment nozzle (42).La présente invention concerne un dispositif (1) de traitement de composants d'installation et/ou d'emballages dans une installation de remplissage par des produits de remplissage, comprenant un dispositif de vaporisation (2) servant à préparer un flux de gaz de traitement contenant du peroxyde d'hydrogène en phase vapeur, une buse de traitement (42) servant à appliquer le flux de gaz de traitement sur les composants d'installation et/ou les emballages à traiter, et un capteur (5) servant à mesurer la concentration en peroxyde d'hydrogène du flux de gaz de traitement sortant de la buse (42).