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一种制造微针阵列的微加工工艺和微针
- 专利权人:
- 河南大学
- 发明人:
- 张培玉,白琛琳,向兵,齐开屏,李妍
- 申请号：
- CN201911081493.5
- 公开号：
- CN110812686A
- 申请日:
- 2019.07.11
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供一种制造微针阵列的微加工工艺和微针。本发明提供的监视孔工艺方法,将盲孔的刻蚀转变成对通孔的控制,只要先在硅片顶部将监视孔的深度刻蚀成硅片厚度与长盲孔的差值,然后在硅片底部刻蚀长盲孔时,当监视孔被从硅片底部方向刻蚀透时,即表示此时的长盲孔的长度已经满足所需的长度,可停止继续进行刻蚀,从而可避免长盲孔的长度误差;本发明提供的复合层掩膜工艺方法,通过将最上层掩膜和最低层掩膜设置成不同的形状,先通过上层掩膜,刻蚀后获得一种结构;然后去除上层掩膜后,通过下层掩膜,刻蚀后可获得较复杂的三维结构。本发明提供的微针的药液出口为侧出口,不存在皮肤组织阻塞药液出口的问题;同时,也可防止药液的泄漏。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
