PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plasma generator capable of suppressing generation of ozone and achieving stable discharge.SOLUTION: A plasma generator 1 includes: a low dielectric layer 4 a first electrode 2a and a second electrode 2b provided so as to sandwich the low dielectric layer 4 therebetween a first high dielectric layer 3a provided between the first electrode 2a and the low dielectric layer 4 and a second high dielectric layer 3b provided between the second electrode 2b and the low dielectric layer 4. Plasma is generated between the first high dielectric layer 3a and the second high dielectric layer 3b. The first high dielectric layer 3a and the second high dielectric layer 3b have side surfaces extending in one direction, and electric field concentration parts 5 are formed on the side surfaces in the vicinity of the low dielectric layer 4.COPYRIGHT: (C)2015,JPO&INPIT【課題】オゾン発生を抑制することができるとともに、安定的な放電が得られるプラズマ発生装置を提供する。【解決手段】低誘電体層4と、低誘電体層4を挟むように設けられた第1電極2a及び第2電極2bと、第1電極2a及び低誘電体層4の間に設けられた第1高誘電体層3aと、第2電極2b及び低誘電体層4の間に設けられた第2高誘電体層3bとを備え、第1高誘電体層3a及び第2高誘電体層3bの間にプラズマを発生させるプラズマ発生装置1であって、第1高誘電体層3a及び第2高誘電体層3bが、一方向に延びる側面を有し、その側面であって低誘電体層4の近傍に電界集中部5が形成されていることを特徴とするプラズマ発生装置1。【選択図】図1
