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一种电加热设备用超温自保护晶闸管的制作方法
- 专利权人:
- 鞍山市良溪电力科技有限公司
- 发明人:
- 于能斌,于泽,张宏伟,王景波,刘欣宇
- 申请号：
- CN201410487218.4
- 公开号：
- CN104282557A
- 申请日:
- 2014.09.22
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 张群
- 摘要：
- 本发明涉及一种电加热设备用超温自保护晶闸管的制作方法，包括以下步骤：1)清洗硅片；2)石英闭管清洗；3)镓、铝源一次全扩散；4)P+扩散；5)氧化；6)一次光刻；7)磷扩散；8)割圆；9)烧结；10)蒸发；11)合金；12)二次光刻；13)台面成型；14)封装；15)晶闸管测试。1)在控制极回路中加入温度控制器，实现超高温保护；2)采用高纯镓、高纯铝源一次全扩散的制造工艺技术，扩散均匀，效率高；3)采用阳极P+扩散技术降低硅片与钼片接触的压降；4)烧结过程采用电脑程控仪控制设备烧结温度，精确稳定，一致性好；5)外密封管壳采用无氧铜加陶瓷密封，热阻小，防潮性能高。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
