PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electromechanical transducer which reduces parasitic capacity of the electromechanical transducer having a groove for separating elements, and prevents a foreign substance from entering the groove, and a method for manufacturing the same.SOLUTION: The electromechanical transducer includes: a plurality of elements 104 each of which has at least one cell including first and second electrodes 108, 107 provided facing each other on both sides of a gap and an outer frame 109 which extends along the outer circumference of the plurality of elements. The first electrode 108 of each of the plurality of elements comprises a plurality of parts formed by electrically separating a substrate for elements by the groove 111, respectively, and the outer frame 109 comprises parts of the substrate for elements around the plurality of parts electrically separated by the groove 111 from the plurality of parts. The plurality of first electrodes 108 are bonded to a plurality of conductive parts 117 of other substrate 102, respectively via a plurality of electrode connection parts 112. The outer frame 109 is bonded to a corresponding part of other substrate via an annular outer frame connection part 113 around the plurality of electrode connection parts.COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT【課題】溝で素子分離された電気機械変換装置の寄生容量を低減すると共に、溝に異物が浸入するのを防止することができる電気機械変換装置及びその作製方法を提供する。【解決手段】電気機械変換装置は、間隙を挟んで対向して設けられた第1及び第2の電極108、107を含むセルを少なくとも1つ夫々有する複数の素子104と、複数の素子の外周に沿って伸びた外枠109を含む。複数の素子夫々の第1の電極108は、素子用の基板を溝111で電気的に分離して形成された複数の部分から夫々成り、外枠109は、複数の部分から溝111で電気的に分離された、複数の部分の周りの素子用の基板の部分から成る。複数の第1の電極108は、複数の電極接続部112を介して、他の基板102の複数の導電性部117に夫々接合され、外枠109は、複数の電極接続部の周りの環状の外枠接続部113を介して、他の基板の対応部分に接合される。【選択図】図1
