PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a beam monitoring system which is inexpensive and highly reliable by using a system for performing signal processing of only the number of wires corresponding to a range where beams are simultaneously irradiated and connecting the other wires to the number of wires corresponding to the irradiation range because the wires irradiated simultaneously with the beams are only a portion of all of the wires even though the number of wires per unit length of a multiwire type monitor for measuring a beam profile is in the direction of an increase, requiring thin shaped beams in order to perform accurate irradiation in a system for scanning beams of thin charged particles to perform irradiation.SOLUTION: In a multiwire type monitor for measuring a beam profile of charged particle beams, a beam monitoring system divides signals outputted from a plurality of wires, groups the same number of wires, extracts one signal from each group to connect signals, collects the number of signals being the number of wires belonging to the group and connects the signals to a signal processing part storing connection information.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】荷電粒子の細いビームを走査して照射する方式において、精度のよい照射を行うため、細形ビームが必要になり、ビームプロファイルを計測するマルチワイヤ形モニタの単位長さあたりのワイヤ数が増加する方向であるが、ビームが同時に照射されるワイヤは全ワイヤのごく一部である。ビームが同時に照射される範囲に相当する数のワイヤ信号だけを信号処理を行う方式として、照射範囲の相当する数のワイヤに、その他のワイヤを接続することにより、低コストかつ高信頼のビーム監視システムを提供するものである。【解決手段】荷電粒子ビームのビームプロファイルを計測するマルチワイヤ形モニタにおいて、複数のワイヤから出力される信号を分割して、同じ数のワイヤでグループ化し、各グループの信号を1点ずつ取り出し、接続し、グループに属するワイヤの数の点数分にまとめ、接続情報を記憶した信号処理部に接続することを特徴とするビーム監視システム。【選択図】 図3
