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ＵＶ硬化性ＣＭＰ研磨パッド及び製造方法
- 专利权人:
- アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ
- 发明人:
- オリラル， マヘンドラ クリストファー,バジャージ， ラジーブ,レデカー， フレッド シー．
- 申请号：
- JP20170532780
- 公开号：
- JP2018502452(A)
- 申请日:
- 2015.11.19
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 化学機械研磨パッドの製造方法は、アクリレート官能基を含有するポリマー前駆体を、モールドに導入すること、ポリマー前駆体に研磨粒子及び光開始剤を供給して、混合物を形成すること、モールドの底部プレートと上部カバーとの間に混合物が収容されている間、モールドの透明な部分を通じて、混合物を紫外線放射に晒し、ポリマー前駆体にラジカルを形成させること、及び、ラジカルを互いに架橋させることによって、ポリマー前駆体からポリマーマトリクスを形成すること、を含む。研磨層は、研磨粒子が分散したポリマーマトリクスを含む。【選択図】図１Ｂ
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
