超声换能器阵列结构及其制备方法
- 专利权人:
- 中国科学院微电子研究所
- 发明人:
- 鲁瑶,万里兮
- 申请号：
- CN201910108865.2
- 公开号：
- CN109759306A
- 申请日:
- 2019.03.02
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供了一种超声换能器阵列结构及其制备方法,属于医疗设备技术领域。其中超声换能器阵列结构包括:超声换能器阵列本体、胶、金属互联线层以及声学匹配层;所述金属互联线层覆盖于所述胶和所述超声换能器阵列本体的表面;所述超声换能器阵列本体嵌于所述胶中;所述声学匹配层覆盖于所述超声换能器阵列本体下方。本发明提供的超声换能器阵列结构,实现了医疗领域对超声换能器高密度、高频率、重量轻、体积小的需求。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
