多孔質ガラス母材の脱水焼結装置および脱水焼結方法
- 专利权人:
- 住友電気工業株式会社
- 发明人:
- 田賀 悠記
- 申请号：
- JP20150222793
- 公开号：
- JP2017088458(A)
- 申请日:
- 2015.11.13
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】粉体を含む排ガスを排気する排気経路において、排気経路の閉塞を防止する。【解決手段】加熱炉２内の多孔質ガラス母材５に脱水またはフッ素添加のためのガスを供給して加熱する多孔質ガラス母材５の脱水焼結装置１であって、加熱炉２内のガスを加熱炉２外に排出する排気経路４を備え、排気経路４は、開度調整バルブ１０と、加熱炉２と開度調整バルブ１０との間にパージガス供給経路１１が合流する合流部１２と、が設けられている。【選択図】図１
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