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料筒的内表面加工工艺
专利权人:
张家港市友成高新材料有限公司
发明人:
季国庆
申请号:
CN201310381580.9
公开号:
CN103418538B
申请日:
2013.08.29
申请国别(地区):
中国
年份:
2014
代理人:
黄春松
摘要:
本发明公开了一种放置硅晶片用的料筒的内表面加工工艺,用于对料筒的内表面进行涂装,包括以下工艺步骤:(1)素材脱脂;(2)物理性表面积扩张;(3)除尘;(4)内表面喷涂聚醚醚酮;(5)内表面涂层预干;(6)涂层烧结;(10)常温冷却;采用上述的表面加工工艺对料筒内表面进行涂装,使得料筒内表面耐高温、耐腐蚀、自润滑性好、耐磨性好,大大增加了料筒的使用寿命,减少了企业生产成本。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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