An X-ray irradiation apparatus 10 that irradiates the object 1 with X-rays from a plurality of directions and captures a plurality of X-ray transmission images with parallax, and an image processing apparatus 20 that inspects the object 1 from the plurality of X-ray transmission images. With. For example, the image processing apparatus using the evolution calculation method determines the correspondence between the edges of the object 1 and both ends of the edges of the object 1 (S2 to S7), and then three-dimensionally measures the position of the object 1 (S8). ).対象物１に対し複数の方向からＸ線を照射し視差のある複数のＸ線透過画像を撮像するＸ線照射装置１０と、複数のＸ線透過画像から対象物１を検査する画像処理装置２０とを備える。例えば進化計算法を用いた画像処理装置により、対象物１のエッジの対応付けと、対象物１のエッジの両端を決定し（Ｓ２～Ｓ７）、次いで対象物１の位置を立体計測する（Ｓ８）。
