PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plasma generator capable of suppressing generation of ozone and obtaining stable discharge.SOLUTION: A plasma generator comprises: a low dielectric layer 2 including a protrusion 5 a first metal layer 3a and a second metal layer 3b which are disposed oppositely while interposing the protrusion 5 therebetween and laminated on the low dielectric layer 2 and a high dielectric layer 4 which is laminated on the low dielectric layer 2 so as to cover at least any one of the first metal layer 3a and the second metal layer 3b. When a voltage is applied to the first metal layer 3a and the second metal layer 3b, an electric field is concentrated on an electric field concentration part 8, and discharge occurs with this portion defined as a trigger. Plasma is generated in the vicinity of the protrusion 5 by the discharge, and ions or radicals (also called active species) are generated by reacting the plasma and air. The generated active species are emitted into any space by an air blowing mechanism that blows winds to a distal end face of he protrusion 5.SELECTED DRAWING: Figure 1COPYRIGHT: (C)2017,JPO&INPIT【課題】オゾン発生を抑制することができるとともに、安定的な放電が得られるプラズマ発生装置を提供する。【解決手段】凸部5を具備する低誘電体層2と、凸部5を挟んで対向するように配置され、低誘電体層2に積層される第1金属層3a及び第2金属層3bと、第1金属層3a及び第2金属層3bの少なくともいずれか一方を覆うように低誘電体層2に積層される高誘電体層4とを備える。第1金属層3a及び第2金属層3bに電圧を印加すると、電界集中部8に電界が集中し、この部分をきっかけにして放電が起こる。この放電によって凸部5近傍でプラズマが発生し、このプラズマと空気とが反応することによって、イオンやラジカル(活性種ともいう)が発生する。そして、凸部5の先端面に風を送る送風機構によって、発生した活性種が任意の空間に放出される。【選択図】図1
