YOON, SANG WON,윤상원,LEE, WON JONG,이원종,CHOI, EUN WOOK,최은욱,KIM, JUNG HYUN,김정현,YOON, SANG WONKR,LEE, WON JONGKR,CHOI, EUN WOOKKR,KIM, JUNG HYUNKR
申请号：
KR1020160126248
公开号：
KR1020180003388A
申请日:
2016.09.30
申请国别(地区):
KR
年份:
2018
代理人:
摘要：
The present invention relates to a plasma generator which comprises: a plasma generation unit in which a central electrode for generating plasma is formed to protrude by a potential difference while being in a contact with a target object, and an external electrode is formed along a circumferential direction outside the central electrode； a power supply unit provided to supply power to the plasma generation unit； and a control unit connected to the power supply unit, and provided to control strength of the plasma generated by the plasma generation unit. Therefore, the plasma generator can generate and maintain uniform plasma, and can improve safety of a ground target.본 발명은 플라즈마 발생 장치에 관한 것으로, 대상물체와 접촉 상태에서 전위차에 의하여 플라즈마를 발생시키는 중심전극이 돌출되어 형성되고 외곽전극이 상기 중심전극의 외곽에 원주방향을 따라 형성된 플라즈마 발생부, 상기 플라즈마 발생부에 전원을 공급시키도록 구비된 전원공급부, 및 상기 전원공급부와 연결되고 상기 플라즈마 발생부에서 발생시키는 플라즈마의 강도를 제어하도록 구비된 제어부를 포함하여 균일한 플라즈마를 발생 및 유지시키고 접지 대상물의 안전을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
