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DISPOSITIFS D'IMAGERIE POURVUS D'ÉMETTEURS-RÉCEPTEURS PIÉZOÉLECTRIQUES
专利权人:
EXO IMAGING INC.
发明人:
AKKARAJU, Sandeep,KWON, Haesung,BIRCUMSHAW, Brian
申请号:
USUS2019/021501
公开号:
WO2019/199397A1
申请日:
2019.03.09
申请国别(地区):
US
年份:
2019
代理人:
摘要:
A micromachined ultrasonic transducer (MUT) (400). The MUT (400) includes: a substrate (402); a membrane (406) suspending from the substrate (402); a bottom electrode (408) disposed on the membrane (406); a piezoelectric layer (410) disposed on the bottom electrode (408) and an asymmetric top electrode (412, 722) is disposed on the piezoelectric layer (410). The areal density distribution of the asymmetric electrode (722) along an axis (742) has a plurality of local maxima (702), wherein locations of the plurality of local maxima (735, 737) coincide with locations (726, 728) where a plurality of anti-nodal points (516, 517) at a vibrational resonance frequency is located.L'invention concerne un transducteur ultrasonore micro-usiné (MUT) (400). Le MUT (400) comprend : un substrat (402) ; une membrane (406) accrochée au substrat (402) ; une électrode inférieure (408) disposée sur la membrane (406) ; une couche piézoélectrique (410) disposée sur l'électrode inférieure (408) et une électrode supérieure asymétrique (412, 722) disposée sur la couche piézoélectrique (410). La distribution de densité surfacique de l'électrode asymétrique (722) le long d'un axe (742) a plusieurs maxima locaux (702), des emplacements des maxima locaux (735, 737) coïncident avec des emplacements (726, 728) où se trouvent plusieurs points anti-nodaux (516, 517) à une fréquence de résonance vibratoire.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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