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샘플의 움직임을 보정하기 위한 광 간섭성 단층 촬영방법
专利权人:
PHOTONICS PLANAR INTEGRATION TECHNOLOGY INC.
发明人:
KWAK, SEUNG CHANKR,곽승찬,KIM, JIN BONGKR,김진봉,PYO, JIN GUKR,표진구
申请号:
KR1020120124850
公开号:
KR1020140060383A
申请日:
2012.11.06
申请国别(地区):
KR
年份:
2014
代理人:
摘要:
An objective of the present invention is to provide an optical coherence tomography method for correcting a movement of a sample. According to an embodiment of the present invention, an optical coherence tomography method for correcting a movement of a sample is disclosed. The optical coherence tomography method comprises the steps of dividing a part of a sample desired to be scanned into a plurality of unit regions performing first scanning to collect scanning data for at least one coordinate at each of the unit regions performing second scanning to collect scanning data for at least one coordinate at each of the unit regions comparing scan profiles of the first and second scanning result data at each unit region with each other and correcting the coordinates of the second scanning data based on the comparison result at each unit region, wherein the second scanning collects scanning data at more coordinates than the first scanning.COPYRIGHT KIPO 2014본 발명의 목적은 샘플의 스캐닝동안 샘플의 움직임이 있더라도 움직임을 보정하기 위한 광 간섭 단층 촬영방법을 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 샘플의 움직임을 보정하기 위한 광 간섭성 단층 촬영 방법이 개시될 수 있다. 상기 광 간섭성 단층 촬영 방법은 스캐닝하고자 하는 샘플의 일 부분을 복수의 단위 영역들로 분할하는 단계 상기 복수의 단위 영역들마다 적어도 하나의 좌표들에 대하여 스캐닝 데이터를 수집하는 제 1 스캐닝을 실시하는 단계 상기 복수의 단위 영역들마다 적어도 하나의 좌표들에 대하여 스캐닝 데이터를 수집하는 제 2 스캐닝을 실시하는 단계 상기 단위 영역들마다 상기 제 1 스캐닝의 결과 데이터 및 상기 제 2 스캐닝의 결과 데이터의 스캔 프로파일을 비교하는 단계 및 상기 비교 결과에 기초하여 상기 단위 영역들마다 상기 제 2 스캐닝의 스캐닝 데이터의 좌표를 수정하는 단계를 포함할 수 있고, 상기 제 2 스캐닝은 상기 제 1 스캐닝에 비하여 더 많은 좌표들에서 스캐닝 데이터를 수집할 수 있다.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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