The present invention is designed to efficiently deposit a ceramic thin film on a joint surface layer of a metal material, which is a counter material, for the purpose of reducing the amount of wear of a polymer material for an artificial joint. In order to further reduce the wear amount of the polymer material, A method for depositing a ceramic thin film, and a method and apparatus for performing ion implantation at the same time as deposition of a thin film to improve a bonding force between a ceramic thin film and a metal material.본 발명은 인공 관절용 고분자 소재의 마모량 감소를 목적으로, 상대재인 금속 소재의 관절표면층에 세라믹 박막을 효율적으로 증착하기 위하여 고안된 것으로, 고분자 소재의 마모량을 더욱 감소시키기 위해 박막의 증착 전에 이온주입을 수행하는 방법, 세라믹 박막을 증착 하는 방법, 그리고 세라믹 박막과 금속 소재 사이의 접합력을 증진시키기 위해 박막의 증착과 동시에 이온주입을 수행하는 방법 및 그 장치에 관한 것이다.
