超声波换能器元件芯片、探测器以及电子设备
- 专利权人:
- 精工爱普生株式会社
- 发明人:
- 中村友亮,鹤野次郎,清赖摄内
- 申请号：
- CN201710088584.6
- 公开号：
- CN106964531B
- 申请日:
- 2013.17.02
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供了超声波换能器元件芯片、探测器以及电子设备,该超声波换能器元件芯片具备:隔壁部,位于基部的第一面,隔开多个开口;可挠膜,覆盖多个所述开口;以及超声波换能器元件,位于覆盖所述可挠膜的所述开口的区域,所述隔壁部的厚度小于所述隔壁部的高度。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
