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一种提高石墨舟处理效果的方法
- 专利权人:
- 浙江鸿禧光伏科技股份有限公司
- 发明人:
- 徐杰
- 申请号：
- CN201210277304.3
- 公开号：
- CN103579057A
- 申请日:
- 2012.08.07
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2014
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明公开了一种提高石墨舟处理效果的方法，其步骤是：（1）将石墨舟拆卸开来，在拆卸石墨舟螺帽时，需避免螺帽与石墨板间的摩擦，以防止石墨板表面的氟氯碳化合物处理遭到破坏；（2）将拆卸后的石墨舟零件放置于一定浓度的HF清洗槽中清洗数小时，确保零件清洗干净；（3）将酸液清洗后的石墨舟零件放入纯水中漂洗数小时，确保石墨舟零件无酸液残留；（4）将拆卸的石墨舟零件放置在一定温度范围内的烘箱中烘干数小时；（5）将烘干的石墨舟零件组装起来，并放入PECVD设备的炉管再次烘干；（6）将烘干后的石墨舟直接放入PECVD设备的炉管内预处理数小时。本发明的有益效果是增强石墨舟的处理效果，提高电池片镀膜后的膜厚、折射率的均匀性和外观品质。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
