PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser chamber capable of suppressing reduction in energy efficiency for excitation while configured to be splittable.SOLUTION: A laser chamber 13 houses a laser rod 11 and a flash lamp 12. An upper frame body 51 and a lower frame body 52 can be split at a predetermined split position in a direction where the laser rod 11 and the flash lamp 12 are arranged. Diffusion materials 54, 55 constituting reflection surfaces are formed inside the upper frame body 51 and the lower frame body 52. The diffusion materials 54, 55 can be split at a position where a straight line passing on the flash lamp 12 and perpendicular to a straight line connecting the center of the laser rod 11 and the center of the flash lamp 12 intersects the reflection surface, in a direction along the laser rod 11 and the flash lamp 12 are arranged.COPYRIGHT: (C)2015,JPO&INPIT【課題】レーザチャンバにおいて、分割可能に構成しつつも、励起のエネルギー効率の低下を抑制可能とする。【解決手段】レーザチャンバ13は、レーザロッド11とフラッシュランプ12とを収容する。上部枠体51と下部枠体52とは、所定の分割位置でレーザロッド11とフラッシュランプ12とが並ぶ方向に分割可能である。上部枠体51及び下部枠体52の内側には、反射面を構成する拡散材料54、55が形成される。拡散材料54、55は、レーザロッド11の長手方向に対して垂直な断面から見たときに、フラッシュランプ12を通り、レーザロッド11の中心とフラッシュランプ12の中心とを結ぶ直線に対して垂直な直線と反射面とが交差する位置で、レーザロッド11とフラッシュランプ12とが並ぶ方向に分割可能である。【選択図】図3
