偏向電磁石装置、エネルギー分析装置、およびイオン注入装置
- 专利权人:
- 住友重機械工業株式会社
- 发明人:
- 酒見 俊之
- 申请号：
- JP20150224149
- 公开号：
- JP2017091966(A)
- 申请日:
- 2015.11.16
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】強磁場を高品質に生成するとともに漏れ磁場を抑制する偏向電磁石装置を提供する。【解決手段】偏向電磁石装置１００は、横方向に細長いビーム断面をもち奥行方向に入射する荷電粒子ビームを縦方向に偏向する。偏向電磁石装置１００は、荷電粒子ビームが通る中央開口を有する窓枠型ヨーク１０２と、荷電粒子ビームを縦方向に偏向する横方向磁場を中央開口に生成するよう窓枠型ヨーク１０２に装着されたメインコイル２００と、窓枠型ヨーク１０２を減磁するよう窓枠型ヨーク１０２の外側に配設されたサブコイル３００と、を備える。【選択図】図２
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