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Ultrasonic transducer, manufacturing method thereof, and ultrasonic imaging apparatus
专利权人:
HITACHI LTD;株式会社日立製作所
发明人:
河野 正和,竹崎 泰一,町田 俊太郎,龍崎 大介,KONO MASAKAZU,TAKEZAKI TAICHI,MACHIDA SHUNTARO,RYUZAKI DAISUKE
申请号:
JP2019004613
公开号:
JP2020113929A
申请日:
2019.01.15
申请国别(地区):
JP
年份:
2020
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic transducer having high sensitivity and high durability. An ultrasonic transducer (10) includes a pair of upper and lower electrodes (107, 103), a cavity layer (105) having a vibration space (105b) directly sandwiched by the pair of electrodes (107, 103), and a pair of electrodes (107, 103). An insulating layer 104 sandwiched between 103 and arranged around the vibration space 105b, and the thickness of the insulating layer 104 in the vertical direction is thicker than the thickness of the cavity layer 105 in the vertical direction. Is characterized by. [Selection diagram] Figure 2【課題】高感度で耐久性の高い超音波トランスデューサを提供する。【解決手段】超音波トランスデューサ10は、上下一対の電極107、103と、一対の電極107、103に直接挟まれている振動用空間105bを有している空洞層105と、一対の電極107、103に挟まれており、かつ、振動用空間105bの周囲に配置されている絶縁層104とを備え、絶縁層104の上下方向の厚さが、空洞層105の上下方向の厚さよりも厚いことを特徴とする。【選択図】図2
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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