It is low, the hollow micro tube structure and its production method where you can use as the electrode of invasion are offered, the organism survey instrument which uses the above-mentioned hollow micro tube structure is offered. As for the hollow micro tube structure, semiconductor baseplate being the hollow micro tube structure which has with the hollow tube 4 where was formed on the surface of 2 and this semiconductor baseplate, as for the hollow tube, it provides metal tunic layer 6 on the inner surface, provides insulating coating layer 7 outside that and it is the hollow tube which becomes, the semiconductor baseplate has the perforation hole which is communicated inside the hollow tube in the formation position of the hollow tube. The production method, consists of with erosion process and fictitious layer formation process and metal tunic layer formation process and insulating coating layer formation process and advanced removal process and perforation process. The organism survey instrument on baseplate side of the hollow micro tube structure, makes the constitution which inside the electric information transmitter, the optical signal transmitter, the liquid medicine injector, the electric instrument, the chemical instrument and the optical instrument at least has one.低侵襲の電極として使用できる中空マイクロチューブ構造体およびその製造方法を提供し、上記中空マイクロチューブ構造体を使用した生体検査装置を提供する。中空マイクロチューブ構造体は、半導体基板2と、この半導体基板の表面上に形成された中空チューブ4とを備えた中空マイクロチューブ構造体であって、中空チューブは、内部表面に金属被膜層6を設け、その外側に絶縁被膜層7を設けてなる中空チューブであり、半導体基板は、中空チューブの形成位置において中空チューブの内部に連通する貫通孔を有する。その製造方法は、浸食工程と、擬制層形成工程と、金属被膜層形成工程と、絶縁被膜層形成工程と、先端除去工程と、穿孔工程とからなる。生体検査装置は、中空マイクロチューブ構造体の基板側に、電気信号発信器、光学的信号発信器、薬液注入器、電気的計測器、化学的計測器および光学的計測器のうち少なくとも一つを備えた構成とする。
