The valve (10) includes a first case member (101) having an inflow port (H1) and a first valve seat (VS), and a second case member (105) having an exhaust port (H2) and a discharge port (H3). And a valve chamber formed by bonding the first case member (101) and the second case member (105) with the first bonding member (300), and connecting the valve chamber to the inlet (H1). A diaphragm (150) formed so as to be separated into a lower valve chamber (106) and an upper valve chamber (107) connecting the discharge port (H3) and the exhaust port (H2). The diaphragm (150) has a first opening (111), and is disposed in the valve chamber such that the periphery of the first opening (111) contacts the first valve seat (VS). The outer periphery of 150) is fixed to at least one of the first case member (101) and the second case member (105) by the first adhesive member (300) so as to be located inside the case.バルブ（１０）は、流入口（Ｈ１）と第１弁座（ＶＳ）を有する第１ケース部材（１０１）と、排気口（Ｈ２）と吐出口（Ｈ３）を有する第２ケース部材（１０５）と、第１ケース部材（１０１）と第２ケース部材（１０５）とを、第１接着部材（３００）で接着することによって形成されたバルブ室と、バルブ室を流入口（Ｈ１）と連接する下バルブ室（１０６）と、吐出口（Ｈ３）と排気口（Ｈ２）とを連接する上バルブ室（１０７）と、に分離するように形成されているダイヤフラム（１５０）と、を備える。ダイヤフラム（１５０）は、第１開口部（１１１）を有し、第１開口部（１１１）の周囲が第１弁座（ＶＳ）に接触するように、バルブ室内に配置されており、ダイヤフラム（１５０）の外周は、ケースの内部に位置するように、第１接着部材（３００）で第１ケース部材（１０１）及び第２ケース部材（１０５）の少なくとも一方に固定されている。
