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ELECTROSTATIC CAPACITY TYPE TRANSDUCER AND ULTRASONIC PROBE USING THE SAME
专利权人:
CANON INC;キヤノン株式会社
发明人:
MARUYAMA AYAKO,丸山 綾子
申请号:
JP2018143723
公开号:
JP2020018469A
申请日:
2018.07.31
申请国别(地区):
JP
年份:
2020
代理人:
摘要:
To solve a problem caused by a difference in an amplitude of vibration membranes of cells between the outer periphery and the inside of an element of a CMUT.SOLUTION: An electrostatic capacity type transducer includes an element composed including a plurality of cells. The cell includes a first electrode and a vibration membrane including a second electrode provided opposed to the first electrode with a gap in between. The second electrode of one of the plurality of cells is electrically connected to the second electrode of at least one adjacent cell by first electric wiring. The structure of the first electric wiring on the gap of a first cell provided in the outer periphery of the element of the plurality of cells, and the structure of the first electric wiring on the gap of a second cell provided inside the element as compared with the first cell are different from each other.SELECTED DRAWING: Figure 1【課題】 CMUTが有する素子の外周と内側とで、セルの振動膜の振幅の違いにより生じる課題を解決すること。【解決手段】 複数のセルを含み構成される素子を有する静電容量型トランスデューサであって、 前記セルは、第一の電極と、前記第一の電極と間隙を挟んで対向して設けられた第二の電極を含む振動膜と、を有し、前記複数のセルのうちの1つのセルの前記第二の電極は、隣接する少なくとも1つのセルの前記第二の電極と、第一の電気配線で電気的に接続されており、前記複数のセルのうち、前記素子の外周に設けられた第1のセルの前記間隙の上の前記第一の電気配線の構造と、前記第1のセルよりも素子の内側に設けられた第2のセルの前記間隙の上の前記第一の電気配線の構造とが異なることを特徴とする静電容量型トランスデューサ。【選択図】 図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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