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弾性表面波共振器間の相互干渉抑制構造、および加速度センサ
- 专利权人:
- 多摩川精機株式会社
- 发明人:
- 松井 友弘
- 申请号：
- JP20150133859
- 公开号：
- JP2017015606(A)
- 申请日:
- 2015.07.02
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】弾性表面波共振器を不感帯部分と複数の検出部分に配置する加速度センサについて、弾性表面波共振器からの漏れによる他の弾性表面波共振器との相互干渉を、簡易な方法・構成によって十分に抑制することができ、かつ弾性表面波からバルク波へ変換されるエネルギーによる干渉の発生も回避することのできる、弾性表面波共振器間の相互干渉抑制構造を提供する。【解決手段】弾性表面波共振器間の相互干渉抑制構造１０は、弾性表面波ＳＡＷを発生させるための圧電基板９上に複数の弾性表面波共振器２、３等を備えて構成されているセンサ素子１上における構造であり、二の弾性表面波共振器３、４間等に設けられた隆起構造である。圧電基板９は中央の支持部９ｃと錘部９ａ、９ａおよび両者を連結する梁部９ｂからなる形態で、支持部９
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
