해리슨, 마이클 제이.,올슨, 앤드류 와이.,플랫, 윌리엄 디.,그롯요한, 리차드,얀스 반 렌스부르그, 리차드 빌헬름
申请号：
KR1020157026137
公开号：
KR1020150132193A
申请日:
2014.03.13
申请国别(地区):
KR
年份:
2015
代理人:
摘要：
to imprint a substrate for the deposition to internal systems deployed in at least one deposition surface with an outlet, butt deposition surface holding the substrate and the substrate to be the holder, the at least means associated operably with the deposited surface so as to feed the material through an outlet to the deposition material on a substrate, and a deposition surface and and a spacing member disposed between the contact base.기재 상에 임프린트를 퇴적시키기 위한 시스템은 내부에 배치된 적어도 하나의 유출구를 갖는 퇴적 표면, 퇴적 표면에 맞대어 기재를 유지하고 있기 위한 기재 홀더, 기재 상에 재료를 퇴적시키기 위해 상기 적어도 유출구를 통해 상기 재료를 공급하도록 퇴적 표면과 작동 가능하게 연관된 수단, 및 퇴적 표면과 기재 사이에서 접촉하게 배치된 스페이서 부재를 포함한다.
