振动传感器及其制备方法
- 专利权人:
- 纳米新能源(唐山)有限责任公司
- 发明人:
- 王竹,林同福,赵豪
- 申请号：
- CN201310714985.X
- 公开号：
- CN104720784A
- 申请日:
- 2013.12.20
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供了一种振动传感器及其制备方法。该振动传感器包括依次层叠设置的第一电极层，第一高分子聚合物绝缘层，和第二电极层，第一高分子聚合物绝缘层和第二电极层之间设有可振动的框架结构。第一高分子聚合物绝缘层和第二电极层之间可增设第二高分子聚合物绝缘层，从而使可振动的框架结构在第一高分子聚合物绝缘层和第二高分子聚合物绝缘层之间形成。第一高分子聚合物绝缘层和第二高分子聚合物绝缘层之间还可进一步增设居间电极层或居间薄膜层，各层之间均可形成可振动的框架结构。本发明还提供了振动传感器的制备方法。本发明的振动传感器具有优异的低频响应性能。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
