CORK;UNIVERSITY COLLEGE CORK - NATIONAL UNIVERSITY OF IRELAND
发明人:
JACKSON, Nathan,MATHEWSON, Alan,OLSZEWSKI, Zbigniew
申请号：
EPEP2017/055222
公开号：
WO2017/149165A1
申请日:
2017.03.06
申请国别(地区):
EP
年份:
2017
代理人:
摘要：
The invention provides a monolithic integrated mesh device for atomization or pumping of a fluid or liquid comprising a plurality of apertures and a piezoelectric material. The piezoelectric material is bonded to the mesh device at an atomic scale. In one embodiment the monolithic micro-fabricated device of the invention includes piezoelectric material that eliminates the need for expensive assembly process and improves reliability. This also has advantage of requiring lower operating voltage and less complicated circuitry.La présente invention concerne un dispositif maillé intégré monolithique pour l'atomisation ou le pompage d'un fluide ou d'un liquide comprenant une pluralité d'ouvertures et un matériau piézoélectrique. Le matériau piézoélectrique est lié au dispositif maillé à une échelle atomique. Dans un mode de réalisation, le dispositif microfabriqué monolithique de l'invention comprend un matériau piézoélectrique qui élimine le besoin d'un processus d'assemblage onéreux et améliore la fiabilité. Ceci a également comme avantage de nécessiter une tension de fonctionnement plus basse et moins de circuits compliqués.
