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測定装置
专利权人:
キヤノン株式会社
发明人:
吹田 貴弘
申请号:
JP2014133518
公开号:
JP5868458B2
申请日:
2014.06.30
申请国别(地区):
JP
年份:
2016
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a measuring apparatus and a method capable of shortening a measuring time by appropriately controlling measurement mode based on determination about presence of a measurement target held by a shape keeping member in a scanning region of a probe, and to allow appropriate measurement of respective measurement targets.SOLUTION: A measuring apparatus which measures a measurement target 1 held by a shape keeping member 2, includes: a probe 4 a memory part 10 and a determination means 11. The measuring apparatus, based on determination of the determination means 11, controls measurement operation. The probe 4 includes an electromechanical conversion device which receives an acoustic wave from a measurement target 1 held by the shape keeping member 2 through the shape keeping member and converts it to a reception signal, and scanning is made along a surface of the shape keeping member 2. The memory part 10 stores the reception signal. The determination means 11, based on the reception signal stored in the memory part 10, determines whether or not the probe 4 is scanning a surface region of the shape keeping member 2 where the measurement target 1 is present.COPYRIGHT: (C)2014,JPO&INPIT【課題】探触子の走査領域において形状維持部材で保持された測定対象の有無の判定に基づき適宜に測定態様の制御を行い、各測定対象に対して適切な測定を可能として測定時間の短縮を可能とした測定装置及び方法を提供する。【解決手段】形状維持部材2で保持された測定対象1を測定する測定装置は、探触子4と記憶部10と判定手段11を有し、判定手段11による判定に基づき、測定動作を制御する。探触子4は、形状維持部材2で保持された測定対象1からの音響波を前記形状維持部材を介して受信し受信信号に変換するための電気機械変換装置を有し、形状維持部材2の表面に沿って走査される。記憶部10は、前記受信信号を格納する。判定手段11は、記憶部10に格納された受信信号に基づき、探触子4が測定対象1の存在する形状維持部材2の表面領域を走査しているか否かを判定する。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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