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放射線画像撮影装置
专利权人:
FUJIFILM CORPORATION
发明人:
MIURA Kei,三浦圭
申请号:
JPJP2012/076948
公开号:
WO2013/058317A1
申请日:
2012.10.18
申请国别(地区):
WO
年份:
2013
代理人:
摘要:
Provided is a radiographic image capturing apparatus such that cracks in an inter-layer insulation layer that is arranged between switching elements and information conversion elements are inhibited and defects in radiation detection elements are inhibited. The radiographic image capturing apparatus is provided with switching elements (102), a first inter-layer insulation layer (116B) comprising a first photosensitive organic film (116B2), and information conversion elements (106) that convert radiographic image information into an electrical signal. First connection holes (116H1) that connect the switching elements (102) and the information conversion elements (106) are formed within the first inter-layer insulation layer (116B). The first photosensitive organic film (116B2) comprises, at the first connection holes (116H1), first inner-wall faces (T1) the inclination angles of which are set to be not less than 3 degrees and less than 20 degrees.La présente invention concerne un appareil de capture dune image radiographique, de telle sorte que des fissures dans une couche disolation entre couches disposée entre des éléments de commutation et des éléments de conversion dinformation soient empêchées et que des défauts des éléments de détection dun rayonnement soient évités. Lappareil de capture dimage radiographique est pourvu déléments de commutation (102), dune première couche disolation entre couches (116B) comprenant un premier film organique photosensible (116B2) et déléments de conversion dinformation (106) convertissant une information dimage radiographique en un signal électrique. Des premiers trous de connexion (116H1) connectant les éléments de commutation (102) et les éléments de conversion dinformation (106) sont formés dans la première couche disolation entre couches (116B). Le premier film organique photosensible (116B2) comprend, au niveau des premiers trous de connexion (116H1), des premières faces de paroi interne (T1) dont les angles dinclinaison son
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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