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基于MEMS的二维压阻式微力传感器
- 专利权人:
- 哈尔滨工业大学
- 发明人:
- 荣伟彬,周杰,李东洁,王乐锋,张世忠
- 申请号：
- CN201210589604.5
- 公开号：
- CN103033296B
- 申请日:
- 2012.12.31
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 高媛
- 摘要：
- 基于MEMS的二维压阻式微力传感器，它涉及一种微力传感器。该传感器解决目前一维微力传感器无法同时检测操作工具与基底之间接触力及操作工具与操作对象之间作用力的问题。检测直梁侧壁的两端各设一个第一压阻，二个半折叠梁沿外伸梁的中心轴线对称设置且第一直梁的另一端与外伸梁连接，外伸梁的一端与检测直梁中部的侧壁连接且二者垂直设置，外伸梁的另一端作为自由端穿过第一直梁、第一通孔和第二通孔设在固定支架的外部，检测直梁、外伸梁和二个半折叠梁连接制成一体，外伸梁沿其长度方向开有应力方孔，外伸梁上表面设有两个第二压阻，每个第二压阻位于应力方孔的孔壁与外伸梁的外侧壁之间。本发明用于微纳米操作。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
