A sterilization method that generates a sterilization gas by vaporizing a sterilizing agent supplied to a chamber having reduced pressure, and sterilizes an object to be sterilized using the sterilization gas, said method comprising (a) a first step for reducing the pressure of the chamber to a prescribed pressure, and (b) a second step for generating the sterilization gas by injecting the sterilizing agent into the chamber after the first step. The second step comprises (b1) a first sub-step for generating the sterilization gas by injecting a prescribed amount of the sterilizing agent into the chamber, (b2) a second sub-step for standing by after the first sub-step until a predetermined criterion is satisfied, and (b3) a third sub-step for repeating the first sub-step and the second sub-step a prescribed number of times.L'invention concerne un procédé de stérilisation qui génère un gaz de stérilisation par la vaporisation d'un agent de stérilisation fourni dans une chambre présentant une pression réduite, et stérilise un objet à stériliser à l'aide du gaz de stérilisation. Ledit procédé comprend : (a) une première étape consistant à réduire la pression de la chambre à une pression prescrite, et (b) une seconde étape, consécutive à la première étape et consistant à générer le gaz de stérilisation par l'injection de l'agent de stérilisation dans la chambre. La seconde étape comprend : (b1) une première sous-étape consistant à générer le gaz de stérilisation par l'injection d'une quantité prescrite de l'agent de stérilisation dans la chambre, (b2) une deuxième sous-étape consistant à attendre, après la première sous-étape, qu'un critère prédéfini soit rempli, et (b3) une troisième sous-étape consistant à répéter la première sous-étape et la deuxième sous-étape un nombre prescrit de fois.減圧された部屋に供給された滅菌剤を気化させて滅菌ガスを生成し、前記滅菌ガスを用いて滅菌対象を滅菌する滅菌方法は、 (a)前記部屋を所定の圧力まで減圧する第1ステップと、 (b)前記第1ステップの後に前記滅菌剤を前記部屋に注入して滅菌ガスを生成する第2ステップを有し、 前記第2ステップは、 (b1)所定量の滅菌剤を前記部屋に注入して滅菌ガスを生成する第1サブステップと