超声波振子阵列、超声波振子阵列的制造方法以及超声波内窥镜
- 专利权人:
- 奥林巴斯医疗株式会社;奥林巴斯株式会社
- 发明人:
- 吉田晓,若林胜裕,平冈仁,松本一哉,长谷川守,唐木和久
- 申请号:
- CN201380000905.2
- 公开号:
- CN103429166B
- 申请日:
- 2013.01.18
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 摘要:
- 本实施方式的超声波振子阵列(40)包括:基板(41);多个槽状的凹部(41A),其以规定间隔配置在基板(41)的一个面上;元件区域(31),其在基板(41)的上述一个面那一侧配置在上述凹部(41A)彼此之间;挠性膜(42),其覆盖基板(41)和元件区域(31),且脆性比上述基板(41)的脆性低;以及分割槽(28),其具有比上述凹部(41A)的宽度窄的宽度,从上述基板(41)的另一个面到达上述凹部(41A)内的挠性膜(42)。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心