PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technology which enables an electro-mechanical conversion device such as a two-dimensional capacitive electro-mechanical conversion device having excellent sensitivity in a desired frequency band to be manufactured with no defect or with high yield.SOLUTION: An electro-mechanical conversion device has a plurality of elements 1, 2, 3 each including at least one cell. The plurality of elements 1, 2, 3 are disposed independently of respectively corresponding processing circuits on an integrated circuit board 5, whereon a plurality of processing circuits are formed, while being separated from each other, and mechanically and electrically coupled with the plurality of corresponding processing circuits so as to input/output signals for each of the elements.COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT【課題】所望の周波数帯域で良好な感度を有する二次元容量型電気機械変換装置などの電気機械変換装置を無欠陥ないし歩留まり良く作製することを可能とする技術を提供する。【解決手段】電気機械変換装置は少なくとも1つのセルを含むエレメント1、2、3を複数個有する。複数のエレメントト1、2、3は、複数の処理回路が形成された集積回路基板5上のそれぞれ対応する処理回路に対して、互いに分離して独立的に配置され、各エレメント毎に信号の入出力ができる様に、対応する複数の処理回路とそれぞれ機械的及び電気的に結合されている。【選択図】 図1
