Eine Abtast-Beobachtungsvorrichtung (10) lenkt Beleuchtungslicht mit einem Aktor (25) durch ein Beleuchtungs-Optiksystem (26) ab, um ein Objekt (32) abzutasten, unterwirft Licht von dem Objekt (32) einer photoelektrischen Umwandlung mit einem optischen Detektor (44), führt eine Verarbeitung mit einem Bildprozessor (46) aus und zeigt ein Bild des Objekts (32) auf einer Anzeige (60) an. Ein Speicher (35) speichert Information über optische Eigenschaften in Bezug auf eine chromatische Aberration der Vergrößerung des Beleuchtungs-Optiksystems (26) relativ zu Licht von vorbestimmten Farben. Ein Abtastbahnrechner (45) berechnet eine Abtastbahn von Licht jeder Farbe auf dem Objekt (32) unter Verwendung der Information. Unter Verwendung der Abtastbahn kalibriert der Bildprozessor (46) eine Aufzeichnungsposition, die durch ein photoelektrisches Umwandlungssignal von dem optischen Detektor (44) für Licht jeder Farbe erhalten wird und erzeugt ein Bild des Objekts (32), wodurch die chromatische Aberration der Vergrößerung einfacher korrigiert wird.A scanning observer (10) deflects illumination light with an actuator (25) through an illumination optical system (26) to scan an object (32), subjects light from the object (32) to photoelectric conversion with an optical detector (44 ) performs processing with an image processor (46) and displays an image of the object (32) on a display (60). A memory (35) stores information about optical properties related to a chromatic aberration of the magnification of the illumination optical system (26) relative to light of predetermined colors. A scan path calculator (45) calculates a scan path of light of each color on the object (32) using the information. Using the scanning path, the image processor (46) calibrates a recording position obtained by a photoelectric conversion signal from the optical detector (44) for light of each color, and produces an image of the object (32), whereby the chromatic aberration of the magnification is mo
