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一种氧敏传感器的制备方法
专利权人:
福州大学
发明人:
潘海波,陈耐生,黄金陵,沈水发
申请号:
CN02112887.1
公开号:
CN1374519A
申请日:
2002.04.14
申请国别(地区):
中国
年份:
2002
代理人:
摘要:
本发明公开了一种氧敏传感器的制备方法,其步骤为:(1)利用三氯化钛以及掺杂一定比例五氯化铌、五氯化钽为源物质;(2)采用溶胶-凝胶方法,添加过氧化氢强氧化剂和DBS表面包覆剂,在50℃-70℃水浴下搅拌直至形成凝胶,保温3-5小时;(3)用松油醇调制以上纳米粉体,均匀涂抹在附有刷式电极瓷管上;(4)将它置于马弗炉中,在380℃-450℃下1小时烧结之后,制备了TiO2基掺杂五氯化铌、五氯化钽纳米粉体,附上加热丝制成厚膜型气敏元件,电加热老化10天。本发明制备二氧化钛基纳米掺铌、钽的纳米半导体厚模型氧敏传感器,以实现低工作温度、高灵敏、响应快、高稳定性的氧气敏感特性,本发明与现有的氧敏粉体成分、制备方法及气敏元件的结构均不同。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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