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一种氧敏传感器的制备方法
- 专利权人:
- 福州大学
- 发明人:
- 潘海波,陈耐生,黄金陵,沈水发
- 申请号:
- CN02112887.1
- 公开号:
- CN1374519A
- 申请日:
- 2002.04.14
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2002
- 代理人:
- 摘要:
- 本发明公开了一种氧敏传感器的制备方法,其步骤为:(1)利用三氯化钛以及掺杂一定比例五氯化铌、五氯化钽为源物质;(2)采用溶胶-凝胶方法,添加过氧化氢强氧化剂和DBS表面包覆剂,在50℃-70℃水浴下搅拌直至形成凝胶,保温3-5小时;(3)用松油醇调制以上纳米粉体,均匀涂抹在附有刷式电极瓷管上;(4)将它置于马弗炉中,在380℃-450℃下1小时烧结之后,制备了TiO2基掺杂五氯化铌、五氯化钽纳米粉体,附上加热丝制成厚膜型气敏元件,电加热老化10天。本发明制备二氧化钛基纳米掺铌、钽的纳米半导体厚模型氧敏传感器,以实现低工作温度、高灵敏、响应快、高稳定性的氧气敏感特性,本发明与现有的氧敏粉体成分、制备方法及气敏元件的结构均不同。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址:
- http://www.ckcest.cn/home/