一种硅片切削液回收系统中的油气分离装置
- 专利权人:
- 苏州晶樱光电科技有限公司
- 发明人:
- 周晓明,许建松,邹文龙,李卡,白青松,蒋娜娜
- 申请号：
- CN201620433934.9
- 公开号：
- CN205613090U
- 申请日:
- 2016.05.13
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 金星
- 摘要：
- 本实用新型公开了一种硅片切削液回收系统中的油气分离装置，包括上腔体和下腔体，所述上腔体的底部和下腔体之间通过出油口连通，所述上腔体的顶部设置有出气口，所述上腔体的侧壁上设置有进气口，所述上腔体内设置有处于溢油口和出气口之间的滤油弹性体，所述上腔体内滑动安装有对滤油弹性体进行挤压的挤压装置，所述下腔体的底部设置有放油口。该油气分离装置结构简单，可对从搅拌釜中抽出的含油空气进行油气分离，使切削油回收，减少污染和原料浪费。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
