[PROBLEMS] To provide a decontamination apparatus using peracetic acid and a decontamination method using the decontamination apparatus having high safety and high effectiveness. [Measures] A device for sterilizing the inside of a device for handling or culturing cells, tissues, media, sterile reagents, microorganisms, etc. installed in the facility or in the facility, which is installed in the decontamination zone and in the decontamination zone. A dry fog generator (1) for dry-fogging and spraying a peracetic acid mixture containing low concentration peracetic acid, a humidity sensor (3) installed in the decontamination zone to measure humidity in the decontamination zone, and the contamination A gas recovery unit 4 installed in the removal zone for recovering the gas in the decontamination zone, and sprayed by the dry fog generator 1 and the gas recovery unit 4 based on the information of the humidity sensor 3； The decontamination apparatus A which consists of the control apparatus 6 which controls the operation movement of gas collection by this is provided, It is provided in addition to the said decontamination area, and one or Performance was installed in the main control, the monitoring device (7) for controlling the controlled device 6 in the decontamination unit (A).[과제] 안전성이 높고, 또한, 효과가 높은, 과아세트산을 이용한 오염 제거 장치 및 당해 오염 제거 장치를 사용한 오염 제거 방법을 제공한다. [해결 수단] 시설 내 또는 당해 시설 내에 설치되어 있는 세포, 조직, 배지, 무균 시약, 미생물 등을 다루거나 배양하는 장치 내부를 무균화하는 장치로서, 오염 제거 구역 내에 설치되어, 당해 오염 제거 구역 내에 저농도 과아세트산을 포함하는 과아세트산 혼합액을 드라이포그화하여 분무하는 드라이포그 발생기(1)와, 상기 오염 제거 구역 내에 설치되어, 당해 오염 제거 구역 내의 습도를 측정하는 습도 센서(3)와, 상기 오염 제거 구역 내에 설치되어, 당해 오염 제거 구역 내의 가스를 회수하는 가스 회수기(4)와, 상기 습도 센서(3)의 정보에 기초하여 상기 드라이포그 발생기(1)에 의한 분무 및 가스 회수기(4)에 의한 가스 회수의 운전을 제어하는 제어 장치(6)로 이루어지는 오염 제거 장치(A)를 설치하고, 상기 오염 제거 구역 외에 설치되어, 하나 또는 복수의 상기 오염 제거 장치(A)의 제어 장치(6)를 제어하는 메인 컨트롤·모니터링 장치(7)를 설치하였다.
