NIDEK CO., LTD.; LTD.;TATSUTA ELECTRIC WIRE & CABLE CO., LTD.;タツタ電線株式会社;TATSUTA ELECTRIC WIRE & CABLE CO.;株式会社ニデック
发明人:
TAKAYA Masato,▲高▼屋 雅人,IWATA Shinya,岩田真也,▲高▼屋 雅人
申请号：
JPJP2018/020464
公开号：
WO2018/225574A1
申请日:
2018.05.29
申请国别(地区):
JP
年份:
2018
代理人:
摘要：
A light interference unit (20) is provided with: a branching optical element (21), a multiplexing optical element (23), and at least one fiber device (22). The branching optical element (21) branches, into a measurement beam and a reference beam, a laser beam for which the emission wavelength has been temporally swept. The multiplexing optical element multiplexes the reference beam and the measurement beam that has been reflected by an object to be measured, and causes the beams to interfere. A reference beam device (22A) is included in at least one fiber device. The light path length, of a reference beam that has passed through the reference beam device, from the reference beam device to the multiplexing optical element is used as a transmitted light path length. The light path length, of a reference beam that has been reflected by a separation section of the reference beam device, from the reference beam device to the multiplexing optical element is used as a reflected light path length. In this case, the transmitted light path length is equal to or greater than the reflected light path length.La présente invention concerne une unité d'interférence de lumière (20) qui est pourvue : d'un élément optique de ramification (21), d'un élément optique de multiplexage (23) et d'au moins un dispositif à fibre (22). L'élément optique de ramification (21) ramifie, en un faisceau de mesure et un faisceau de référence, un faisceau laser pour lequel la longueur d'onde d'émission a été balayée temporellement. L'élément optique de multiplexage multiplexe le faisceau de référence et le faisceau de mesure qui a été réfléchi par un objet à mesurer, et fait en sorte que les faisceaux interfèrent. Un dispositif à faisceau de référence (22A) est inclus dans au moins un dispositif à fibre. La longueur de trajet de lumière, d'un faisceau de référence qui est passé à travers le dispositif de faisceau de référence, du dispositif de faisceau de référence à l'élément optique de multiplexage
