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オニウム塩、光酸発生剤、感光性樹脂組成物及びデバイスの製造方法
- 专利权人:
- 東洋合成工業株式会社
- 发明人:
- 宮澤 貴士
- 申请号：
- JP20160519296
- 公开号：
- JPWO2015174471(A1)
- 申请日:
- 2015.05.13
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 下記式（ａ）で表されるオニウム塩とする。Ｚ−Ａ−Ｗ−Ｙ＋（Ｒ）ｎＸ−（ａ）（上記式（ａ）中、Ｚ、Ａ、Ｗ、Ｙ、（Ｒ）ｎ及びＸは以下の意味である：Ｚは、少なくとも１つの置換基を有していてもよい共役π電子系を備えた環状構造を有する１価の有機基である；Ｗは、少なくとも１つの置換基を有していてもよい共役π電子系を備えた環状構造を有する２価の有機基である；Ａは、直接結合、又は、炭素−炭素一重結合、炭素−炭素二重結合及び炭素−炭素三重結合からなる群より選ばれる少なくとも１つの結合を含む２価の連結基である（なお、前記Ｚ及びＷのいずれかの置換基は、前記Ｚ及びＷのそれぞれに含まれる少なくとも１つの原子と前記Ａと一緒に飽和又は部分的に飽和した環状構造を形成してもよい）；Ｙはヨウ素原子又は硫黄原子で
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
