一种金属托槽表面构筑纳米二氧化锆涂层的方法
- 专利权人:
- 刘姒
- 发明人:
- 刘姒
- 申请号:
- CN201510124472.2
- 公开号:
- CN104928624A
- 申请日:
- 2015.03.20
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 摘要:
- 本发明公开了一种金属托槽表面构筑纳米二氧化锆涂层的方法。它包括以下步骤,A、预处理:将托槽在NaOH溶液中静置后,置于超声波清洗器中分别用丙酮和无水乙醇清洗;最后用去离子水反复冲净;B、溅射前处理:先预溅射氩气,然后抽真空,并开始通入混合气体;C、二氧化锆涂层的制备:在高真空多功能磁控溅射设备内安装溅射氧化锆陶瓷靶,并将所制备出的二氧化锆涂层托槽置于箱式电阻炉中,在氮气中退火处理,得到具有纳米二氧化锆涂层的金属托槽。其优点在于:沉积速率高、膜内缺陷低、与基底结合力强;光滑性好;有效降低了托槽的表面粗糙度;二氧化锆涂层与托槽之间有较强的附着力;二氧化锆涂层明显提高了托槽表面各项力学性能;耐腐蚀性强。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心