一种金属托槽表面构筑纳米二氧化锆涂层的方法
- 专利权人:
- 刘姒
- 发明人:
- 刘姒
- 申请号：
- CN201510124472.2
- 公开号：
- CN104928624A
- 申请日:
- 2015.03.20
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明公开了一种金属托槽表面构筑纳米二氧化锆涂层的方法。它包括以下步骤，A、预处理：将托槽在NaOH溶液中静置后，置于超声波清洗器中分别用丙酮和无水乙醇清洗；最后用去离子水反复冲净；B、溅射前处理：先预溅射氩气，然后抽真空，并开始通入混合气体；C、二氧化锆涂层的制备：在高真空多功能磁控溅射设备内安装溅射氧化锆陶瓷靶，并将所制备出的二氧化锆涂层托槽置于箱式电阻炉中，在氮气中退火处理，得到具有纳米二氧化锆涂层的金属托槽。其优点在于：沉积速率高、膜内缺陷低、与基底结合力强；光滑性好；有效降低了托槽的表面粗糙度；二氧化锆涂层与托槽之间有较强的附着力；二氧化锆涂层明显提高了托槽表面各项力学性能；耐腐蚀性强。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
