The present invention relates to a hybrid three-dimensional sensor array for the measurement of biological cells structure. The sensor array comprises sensors plates plurality of the micro-patterned (1), each sensor plate (1), the comb sensor needles each having electrode surfaces of the plurality (4) (3) I provided has been placed, the support of one part (2). Furthermore, spacer many (11) is provided, and these spacers, both, to have a distance from each other, the sensor plate adjacent the sensor and the needle (2) a support portion (1) (3) The sensor and is fixed between plate (1). The present invention relates to a measuring device having for measuring the electrical activity of the biological cell structure, the sensor array such. [Selection Figure Figure 4本発明は、特に生物細胞構造の測定を行なうためのハイブリッド型3次元センサアレイに関する。このセンサアレイは、マイクロパターン化された複数のセンサ板(1)を有し、センサ板(1)のそれぞれが、複数の電極面(4)を有する複数のセンサ針(3)が櫛状に配置された、一つの支持体部分(2)を備える。更に、多数のスペーサー(11)が設けられ、これらのスペーサーは、隣り合うセンサ板(1)の支持体部分(2)及びセンサ針(3)が、いずれも、互いに距離を有するように、センサ板(1)の間に固定されている。本発明は、また、生物細胞構造の電気的活性を測定するための、このようなセンサアレイを有する測定装置に関する。【選択図】図4
