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静电消除装置
专利权人:
王东阳
发明人:
王东阳
申请号:
CN201220248667.X
公开号:
CN202590169U
申请日:
2012.05.30
申请国别(地区):
CN
年份:
2012
代理人:
摘要:
本实用新型公开了一种静电消除装置,包括依次相连接的传感器、离子发生模块、高压发生器、速度控制阀与高压喷嘴,高压喷嘴内设置有网膜,高压发生器上设置有进气口与进水口。本实用新型的静电消除装置,用于微电子产品生产中静电的消除。它具有以下优点:根据传感器检测到的人体身上所带静电,控制离子发生模块产生与人身体极性相反的电离子。将离子发生模块与高压水雾离子发生器为一体,彻底消除人体身上静电。结构紧凑,性能稳定,方便安装、使用,并且节能、环保、安全。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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