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走査されたビームイオン注入におけるビームの利用を向上させるための方法
- 专利权人:
- アクセリス テクノロジーズ， インコーポレイテッド
- 发明人:
- 佐藤 修
- 申请号：
- JP20160549304
- 公开号：
- JP2017510025(A)
- 申请日:
- 2015.01.29
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 線量測定システムおよび線量測定方法はイオンビームの利用の増大のために提供される。１つ以上の側方のファラデーカップは、イオンビームのパスに沿って位置付けられ、電流そのものを感知する。１つ以上の側方のファラデーカップは、被加工物の直径と関連付けられた距離にて離間している。イオンビームは、ナロースキャンとワイドスキャンとを織り交ぜながら被加工物を横断して反復走査される。ナロースキャンは、被加工物の端部の近傍での走査の方向を逆進させることによって規定される。ワイドスキャンは、側方のファラデーカップの外部領域と関連付けられた位置での走査の方向を逆進させることによって規定される。ビーム電流は、側方のファラデーカップによってビーム走査と同時に感知される。側方ファラデーカップは、イオンビー
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
