一种灯装置、基板清洁设备及其工作方法
- 专利权人:
- 合肥鑫晟光电科技有限公司
- 发明人:
- 童庆,杨勇,廖伟经
- 申请号：
- CN201410713454.3
- 公开号：
- CN104456455B
- 申请日:
- 2014.11.28
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明公开了一种灯装置、基板清洁设备及其工作方法,所述灯装置包括多个远紫外线灯和多个连接结构,所述连接结构位于相邻的两个所述远紫外线灯之间,一个所述远紫外线灯上设置有第一凹槽,相邻的另一个所述远紫外线灯上设置有第二凹槽,所述连接结构的一端位于所述第一凹槽内,所述连接结构的另一端位于所述第二凹槽内,从而避免了划伤玻璃基板,提高了显示面板的良率和有机物去除能力。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
