一种高灵敏度压力传感器
- 专利权人:
- 博脉有限公司
- 发明人:
- 解渤,尉长虹
- 申请号：
- CN201811043586.4
- 公开号：
- CN109247920A
- 申请日:
- 2018.06.09
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供一种高灵敏度压力传感器,属于电容式压力传感器技术领域。高灵敏度压力传感器的第一电极感应板的靠近第二电极感应板的一侧设置有至少一个第一电极,第二电极感应板的靠近第一电极感应板的一侧设置有至少一个与第一电极对应的第二电极,结构板上设置有多个通孔。一个通孔、通孔两端的第一电极和第二电极组成一个电极感应单元,每个电极感应单元的第一电极在第二电极面上的投影与第二电极的至少一部分重合。当第一电极感应板受力时,第一电极感应板能够朝向通孔的方向变形。此高灵敏度压力传感器通过多个电极感应单元的设置,能够通过芯片测出多个电容数据,并通过引出线引出,芯片进行处理,得到检测更加准确的数据。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
