A sterilization apparatus characterized in that the sterilization apparatus comprises a reactive oxygen species irradiation unit for irradiating a reactive oxygen species-containing gas which is a reaction product of plasma generated using an alternating current and a water-containing gas containing steam, the sterilization apparatus further containing an inlet unit for steam flow for supplying the water-containing gas heated to a temperature of from 50° to 300° C., wherein the reactive oxygen species-containing gas contains water in an amount equal to or greater than the amount of saturated steam. The sterilization apparatus of the present invention shows excellent sterilization activity, so that it can be suitably used in sterilization of containers for foodstuff, bottle caps sealing the openings of the containers, medical devices, foodstuff such as vegetables and meat, and the like.La présente invention concerne un appareil de stérilisation caractérisé en ce que l'appareil de stérilisation comprend une unité d'irradiation d'espèce réactive de l'oxygène pour irradier un gaz contenant des espèces réactives de l'oxygène qui est un produit de réaction d'un plasma généré au moyen d'un courant alternatif et d'un flux contenant un gaz contenant de l'eau, l'appareil de stérilisation contenant en outre une unité d'entrée pour un flux de vapeur pour alimenter le gaz contenant de l'eau chauffée à une température de 50 à 300 °C, dans lequel le gaz contenant des espèces réactives de l'oxygène contient de l'eau en une quantité égale ou supérieure à la quantité de vapeur saturée. L'appareil de stérilisation de la présente invention présente une excellente activité de stérilisation, de sorte qu'il puisse être utilisé de manière appropriée dans la stérilisation de récipients pour produits alimentaires, de bouchons de bouteille fermant les ouvertures des récipients, de dispositifs médicaux, de produits alimentaires tels que des légumes et la viande, et similaire.